The $200M Machine that Prints Microchips: The EUV Photolithography System
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EUV 포토리소그래피 장비는 13.5nm 극자외선을 사용하는 나노규모 복사기처럼 작동하며, 반사 광학계와 초정밀 스테이지를 이용해 300mm 웨이퍼 전역에 수초 만에 칩당 수백억 개의 ~10nm 트랜지스터를 인쇄한다.
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EUV 포토리소그래피 장비는 13.5nm 극자외선을 사용하는 나노규모 복사기처럼 작동하며, 반사 광학계와 초정밀 스테이지를 이용해 300mm 웨이퍼 전역에 수초 만에 칩당 수백억 개의 ~10nm 트랜지스터를 인쇄한다.