The Extreme Engineering of ASML’s EUV Light Source
Asianometry · 17:20 · Watch on YouTube
ASML의 1억 5천만 달러짜리 EUV 장비는 초당 50,000개의 낙하하는 주석 액적에 CO2 레이저를 두 번 발사하여 250W 이상의 13.5nm 빛을 만들어내는 레이저 생성 플라즈마 광원으로 구동되며, 20년 이상에 걸친 물리학 우선 엔지니어링으로 변환 효율과 데브리 문제를 해결했다.